Основы анализа поверхности и тонких пленок
Фелдман Л., Майер Д.
Монография, написанная известными американскими специалистами в области атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам и методам использования пучков ионов, электронов н рентгеновского излучения для анализа структуры н состава тонких пленок вещества. Эти методы играют важную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в области микроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне. Для специалистов, интересующихся проблемами анализа поверхности и тонких пленок, аспирантов и студентов.
Kategorie:
Rok:
1992
Wydawnictwo:
Мир
Język:
russian
Strony:
342
ISBN 10:
5030010173
ISBN 13:
9785030010175
Plik:
DJVU, 3.38 MB
IPFS:
,
russian, 1992
Litres
Chcesz dodać księgarnię? Skontaktuj się z nami na support@z-lib.do
Konwertuj pliki
Więcej wyników wyszukiwania
Inne korzyści 
